薄膜电阻

薄膜电阻是一种利用蒸发法将特定电阻率材料蒸镀于绝缘材料表面制成的电子元件。这种电阻器通常使用陶瓷基板作为绝缘材料。薄膜电阻在网络核心运算放大器和高精度数据转换电路中有广泛应用。

制作原理

薄膜电阻的形成本质上是气-固转化和晶体生长的过程。这一过程可分为若干个主要步骤，包括原子或分子撞击固体表面、吸附或反射、迁移至合适的位置并加入晶格。这些过程及其相互作用决定了薄膜的形成过程和性质。电阻薄膜通常包含绝缘相、半导体相和导电相等多种相位成分，且这些相位成分常呈微细分布，以获得更好的性能。

热处理

电阻薄膜的热处理旨在形成一定数量的绝缘相，以改善薄膜的温度性能和长期稳定性。热处理可以通过消除非平衡缺陷和介稳态结构来改善薄膜结构，使其由亚稳态转变为稳定状态。适当的热处理条件，如温度、时间和气氛的选择，对薄膜性能的稳定至关重要。

材料分类

薄膜电阻的材料种类丰富，包括纯金属、金属合金、金属化合物或金属陶瓷等。在单片模拟集成电路和薄膜混合电路中，常用的材料有镍铬、铬硅和铬一氧化硅，分别属于低阻和高阻类别。

工艺特点

薄膜电阻与厚膜电阻器的主要区别在于膜厚和制造工艺。薄膜电阻的膜厚通常小于10μm，而厚膜电阻的膜厚一般大于此数值。薄膜电阻的制造工艺包括真空蒸发、磁控溅射等，而厚膜电阻则采用丝网印刷工艺。这两种工艺的差异导致了电阻器在性能上的显著不同，薄膜电阻具备更高的精度和更低的温度系数，适用于各种精密电子设备。

应用

薄膜电阻器因其优异的性能，在航空航天、国防工业以及电子计算机、通信仪器等领域有着广泛的应用。

参考资料

什么是薄膜和厚膜电阻?薄膜和厚膜电阻之间的区别.电子发烧友.2024-11-06

薄膜电阻. 百度文库.2024-11-06

薄膜电阻常见种类 薄膜电阻与厚膜电阻的主要区别.与非网.2024-11-06